Fabrication of microstructures in thin niobium films by reactive on etching
- Afiliacje: ON2, ON2.4
- Data opublikowania (wydrukowania): 01-01-00
- Strony: 387-392
- Wolumin: 33 (3)
- Autor: Piotrowska A., Piotrowski T. T., Kamińska E., Szopniewski Z., Gierłowski Piotr, Lewandowski Stanisław J.
- Tytuł publikacji: Fabrication of microstructures in thin niobium films by reactive on etching
- Rok: 2000
- Czasopismo / konferencja / monografia: Electron Technology (CLOSED 2007)
Electron Technology (CLOSED 2007), 33 (3) (2000)
